SEMICON China 2026：国产 5nm 量检测设备突破

在上海举办的 SEMICON China 展会上，国产设备厂商展示了针对 5nm 工艺的量检测原型机。业内专家指出，中国半导体设备在刻蚀、薄膜沉积等关键环节的国产化率正从 28nm 向更先进的 14nm 及以下节点渗透，参展商数量创历史新高。

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