中微公司发布 5nm ICP 刻蚀设备 Primo Angnova

中微公司（AMEC）宣布其 Primo Angnova™ ICP 刻蚀设备 已成功进入头部晶圆厂 5nm 生产线。该设备主要用于逻辑芯片和高堆叠层数 3D NAND 的制造，标志着国产高端刻蚀设备在先进工艺市场的份额进一步提升。

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